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液環式真空泵
干式螺桿真空泵用于半導體制造【非耀】
返回列表 來源: 發布日期: 2024.12.10

干式無油螺桿真空泵是一種常用于半導體制造設備,其主要作用是將氣體從封閉的容器中抽出,以達到高真空的狀態。在半導體制造中,高真空是非常重要的,因為它可以保證半導體器件的質量和穩定性。下面,非耀真空泵廠家小編就簡單介紹一下干式螺桿真空泵在半導體行業中的具體應用。

干式螺桿真空泵

非耀無油變螺距螺桿真空泵溶劑回收機組用在醫藥中間體生產抽真空

螺桿真空泵的工作原理是通過螺桿的旋轉來抽出氣體。當螺桿旋轉時,氣體被吸入并被壓縮,然后被排出泵體。這個過程不斷重復,直到達到所需的真空度。在半導體制造中,干式螺桿真空泵通常用于以下幾個方面:

1、氣體抽出:在半導體制造過程中,需要將氣體從反應室中抽出,以保證反應的穩定性和質量。螺桿真空泵可以快速地將氣體抽出,從而保證半導體器件的質量和穩定性。

2、氣體回收:在半導體制造過程中,有些氣體可以被回收并再次使用。螺桿真空泵可以將這些氣體抽出并存儲在一個容器中,以便再次使用。

3、氣體檢測:在半導體制造過程中,需要對氣體進行檢測以確保其質量和純度。螺桿真空泵可以將氣體抽出并送入檢測設備中進行分析。

總之,干式螺桿真空泵在半導體制造中扮演著非常重要的角色。它可以幫助保證半導體器件的質量和穩定性,從而提高生產效率和產品質量。非耀螺桿真空泵,無油無水0污染,運行穩定,使用20000小時無故障,真空度高達5Pa。

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